Yarimo'tkazgich ishlab chiqarish: u qanday qilib plazma etching & CVD uskunalarida ishlaydi

Yarimo'tkazgich ishlab chiqarish jarayoni o'ta aniqlik va og'ir ish sharoitlariga tayanadi va og'ir ish sharoitlariga va keng haroratda -, ayniqsa plazma va kimyoviy moddalar cho'kmasi (CVD) tizimlari. Ushbu muhitni tajovuzkor kimyoviy moddalarga bardosh beradigan, ifloslanishni oldini olish va uzoq vaqt tsikllar ustidan ishlashni oldini olishni talab qiladi. PerlopolynyKiyosat (PFPE) Vakuum nasoslari, o {{4} {{4} {{4} {{4} {{4} {{4} {{4} {{4} {{4} {{4} {{4} {{4} {{4} {{4} {{4} {{4} {{4} {{4} {{4} {{4} qopqoqli va ishonchliligi kabi "oltin standarti" oltin standarti sifatida paydo bo'ldi. Quyida PFPE ushbu asosiy dasturlarda qanday ishlashi haqida batafsil taqsimlash.

Vakuum nasoslari Ultra {{0 pa} {{0 pa} {10⁻⁶ pa} yuqori darajadagi vakuumlarning tayanchidir An'anaviy mineral moylar yoki sintetik moylash materiallari bu erda bu erda bug 'bosimi va kimyoviy beqarorlik tufayli, ammo kimyoviy beqarorlik, ammo PfPening noyob molekulyar tuzilmalari ushbu muhim muammolarga qaratilgan.

Ifloslanish uchun past bug 'bosimi - bepul vakuum: PfPe to'liq flokzinlangan orqa mili Shakllari C - -} C -} C -} C -} C -} C -} C -} C -} Odatda 40 darajada an'anaviy moylardan 1000 baravar past bo'ladi. Bu moyakning bug'lanishi va nozik sirtlar yoki optik tarkibiy qismlarda yog 'va optik komponentlar haqida oldini oladi, bu esa kamchiliklarni keltirib chiqaradi va chipning hosilini kamaytiradi. Plapama-da, hatto izni iflos ifloslantiruvchi moddalar, hatto pfpe -} o'zgaruvchan tabiatni o'zgartirishi mumkin. Vakuum kamerasini tozalaydi.

Stress ostida issiqlik va kimyoviy barqarorlik: Vakuum nasoslari ishlash paytida sezilarli issiqlikni keltirib chiqaradi, ular harorat esa 150 darajadan oshadi. PFPE navli haroratli yopishqoqlikni (-65 darajasi 250 daraja) ushlab turadi, bu nasos rotorlari va podshipniklarga o'xshash komponentlar ustiga izchil moylash plyonkasini ta'minlaydi. Bundan tashqari, plazma va CVD jarayonlari korroziy gazlarni (masalan, florin, xlor, ammiak, va reaktiv moylashni kamaytiradigan reaktiv moylash materiallaridan foydalanadi. PFPEning kimyoviy inertizasi oksidlanish va korroziyani, yog 'parchalanishidan qochib, loyni shakllantirishdan qochadi, loy shakllanishi va undan keyingi nasos shikastlanishi.

Uzoq umr ko'rish uchun moylash mexanizmi: PfPe bardoshli, past {- - falsazorlardagi ishqalanish plyonkalari, masalan, pozspticklari va ehtiyot qismlar kabi harakatlanishni kamaytirish. Flöred zarrachalaridan farqli o'laroq, bu abraziv zarralarni keltirib chiqaradigan altervedralar (po'lat, alyuminiy, kulolchilik) va tez-tez, uning og'irligini tanqid qiluvchi xususiyatlarga mos keladi va texnik xizmat ko'rsatish vaqtini kamaytiradi.

O - Chuum palatalari, gaz liniyalari va atmosfera havosining oldini olish uchun havo partiyalari, gaz liniyalari va jihozlar interfeyslarida halqalarni saqlash uchun halqalar juda muhimdir. Yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda muhrlar ikki tomonlama tahdidlarga duch keladi: qayta ishlangan gazlarning kimyoviy hujumi va takroriy uskunalar velosipedda. PFPE ikkita asosiy mexanizm orqali uzuk kontaktlari O {{3} uzukli ishlashi:

 Sirt moyi va anti - yopishish: O - uzuklar (ko'pincha FFKM yoki PTFE dan qilingan) yuqori harorat yoki bosim ostida bo'lgan sirtlarni yutish, muhrning ochilishi / yopilishida harakatlanishga olib kelishi mumkin. Pfpe - asoslangan moylash materiallari (odatda ptfe bilan qalinlashgan) libos sirti past - - - - - - 5% gacha bo'lgan burilish koeffitsientlarini 50% ga tushiradigan tayoqcha. Bu yopishqoq stressni oldini oladi va O - uzatilgan yoki an'anaviy moylangan muhrlarga qaraganda 2-3 marta cho'zilgan mexanik stressni 2-3 marta kamaytiradi.

 Muhrlarni himoya qilish va kimyoviy to'siq: Fluorin va xlorid kislotasi kabi gazlarni qayta ishlash Vaqt o'tishi bilan halqa va egiluvchanligini yoki yo'qolishini keltirib chiqaradi. Pfpe-ning inert tabiati himoya to'siqlar, takrorlash korroziv moddalar sifatida harakat qiladi va ularga o - Ring Matritxida kirishga xalaqit beradi. Bu muhrning siqish panelini va egiluvchanligini saqlab qoladi, hatto minglab jarayon tsikllaridan keyin ham izchil muhrlash ko'rsatkichini ta'minlaydi. Tustursor gazlari (masalan, Silman, titan xloridi) bo'lgan CVD tizimlarida juda reaktiv, pfpe - pfpe - pflyalizmning bir xilligini buzishi mumkin bo'lgan gaz oqishini oldini oladi.

Valvinlar jarayoni va CVD tizimlarida jarimalar, prekorsorlar va vakuum oqimini tartibga soladi, aniq harakatlanish va nol oqishni talab qiladi. Qattiq ish sharoitlari - Korroziy vositalar, yuqori bosimli differentlar va tez-tez velosipedchilik va velosipedda - moylash va kimyoviy barqarorlik balansini to'ldiradi.

Aniq harakatlanish uchun ishqalanishni kamaytirish: Klapanlar atmoslar, to'p o'rindiqlar va gaz oqimini to'g'ri boshqarish uchun silliq harakatni talab qiladigan darvoza mexanizmlaridan foydalanishadi. PFPEning past va yuqori haroratda pastroq haroratda pastroq haroratda kamroq qarshilik ko'rsatadi, ochilish yoki cho'kish uchun aniq oqimlarni boshqarishning aniqligini ta'minlaydi. Uning klapan materiallari bilan mosligi (ptfe, zanglamaydigan po'lat, ffkm) millionlab tsikllardan keyin ham galling va tortib olishning oldini oladi.

Kimyoviy inertizatsiya va ifloslanishning oldini olish: Plazmadagi plazmadagi klapanlar moyak partiyasi va yuklarni o'rnatishga olib keladigan reaktiv va qo'shimcha mahsulotlarga duchor bo'ladilar. PFPE ushbu moddalar tomonidan buzilgan, bu jarayonlar gazlarini ifloslantiradigan korroziy bo'lmagan mahsulotlarni shakllantirishdan qochadi. Bundan tashqari, uning - o'zgaruvchan xarakteri, moyli suv oqimini ta'minlamaydi, bu ifloslanishning oldini oladi, gaz oqimiga kiradi. CVD tizimlarida, hatto kuzatuv aralashmalari Film tarkibini o'zgartirishi mumkin, pfpe toza operatsiyasi jarayonning yaxlitligini saqlash uchun zarurdir.

Uzoq - haddan tashqari tsikllardagi barqarorlik: Yarimo'tkazgichli klapanlar doimiy ravishda {{}} stress muhitida ishlaydi, - harorat o'zgarishi bilan 200 daraja (ishlov berish paytida) (ishlov berish paytida). PfPe-ning termal barqarorlik kuchayadi, barcha operatsion zanjirlar bo'yicha barcha operatsion moylashni ta'minlaydi. Bu rejalashtirilmagan texnik xizmatni kamaytiradi va xizmat ko'rsatish muddatini uzaytiradi, -}}} yuqori hajmli ishlab chiqarish ob'ektlari uchun eng asosiy narx.

Plazma etchlash va CVD jarayonlarida moylash materiallari va muhrlash materiallarini ishlash uskunalar ishonchliligi va mahsulot sifatiga bevosita ta'sir qiladi. PFPEning ultra - past bug'ning noyob kombinatsiyasi, kimyoviy inertatsiya, keng harorat bardoshi va ishqalanish sanoatning eng talabchan talablariga javob beradigan yagona materialni tashkil qiladi. Noqulaylik, korroziya yoki erta muvaffaqiyatsizlikka uchraydigan odatiy moylash materiallaridan farqli o'laroq, PFPE quyidagilarni ta'minlaydi:

 Tekshiruv va jarayoni tozaligi

 Kuchli tarkibiy qismlar uchun yashash muddati (nasoslar, klapan, o - halqalar)

 Ta'minot xarajatlari va kam vaqt

 Yarimo'tkazgichni tozalash bo'yicha tozalash standartlariga muvofiq (ISO sinfi 1-3)