7 nm gofretlardan tortib, ilg'or qadoqlashgacha, har bir yangi tugun funksiya o'lchamlarini jismoniy chegaralar tomon suradi va -bir marta fon bosqichida-nanometrga- yoki hatto angstrom-darajasiga "tozalanadi". An'anaviy florokarbonlar (CFC-113, PFC)-yonuvchan emas va toksikligi past, ammo ularning ozon qatlami-yorilishi yoki yuqori GWP profillari global taqiqlarga sabab bo'ldi. Suvli kimyolar esa ko'pincha suv izlarini qoldiradi, metallarni korroziyaga soladi va ko'p miqdorda quritish energiyasini iste'mol qiladi.Gidroftoreter (HFE), nol ODP, past GWP,-yonuvchanlik va nol qoldiqni birlashtirgan holda, tezda fab muhandisining yangi sevimlisiga aylandi va endi yuqori aniqlikdagi-tozalashning soʻnggi yashil oʻrnini egallaydi.
1. Nima uchun HFE ftorli erituvchi yarimo'tkazgichlarni tozalashga qodir
Molekulyar muhandislik muvozanatli ishlashni ta'minlaydi
Efir kislorodi uglerod skeletiga qulflanadi va qolgan valentliklar vodorod bilan qoplanadi, bu esa florokarbonlarning kimyoviy inertligi va past polaritesini saqlab, issiqxona ta'sirini va toksikligini kamaytiradi. Misol tariqasida HFE-347 (C₃H₃F₇O) asosiy sinfini olish:
Qaynash nuqtasi 56,2 daraja; tez, suv-belgisi-erkin quritish uchun xona haroratida yuqori bugʻ bosimi
Sirt tarangligi atigi 16,4 mN m⁻¹, 10 nm xandaqlarga kirib, zarrachalar va fotorezist bo'laklarni "ko'taradi"
Dielektrik quvvati 40 kV, bu-asbobni jonli tozalashga imkon beradi,-oksid parchalanishisiz
Yong'in nuqtasi yo'q, portlash chegarasi yo'q, yong'in xavfi-ni darhol pasaytiradi
Zo'r material muvofiqligi
Cu, Al, Ti, Ta, Ni, SnAg lehimlarda nol korroziya, Past-k dielektriklar, PI, LCP, FR-4; PR, BARC, SiO₂, Si₃N₄-qurilma tuzilmalariga nisbatan yuqori selektivlik saqlanib qoladi.
Normativ va ekologik-do'st
ODP=0, GWP ≈ 540, atmosfera muddati < 1 yil, EI VOC, RoHS, REACH va Xitoyning ODS-oʻrnini bosuvchi yoʻl xaritasiga javob beradi. Ishlatilgan suyuqlik 10 martadan ortiq distillangan va qayta ishlanishi mumkin, bu esa umumiy egalik narxini (TCO) 15-25% ga kamaytiradi.
Maxsus ifloslantiruvchi moddalar uchun mukammal tozalash samaradorligi
Barcha organiklar uchun universal erituvchilar bo'lmasa-da, HFElar maqsadli qo'llanilishi uchun juda samarali:
Perftorli moylash materiallari va moylarni olib tashlash uchun ajoyib: Ular vakuumli muhrlar, klapanlar va yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish asboblarida robototexnika uchun ishlatiladigan perftorpolieter (PFPE) va Krytox™{0}} tipidagi moylash materiallarini olib tashlash uchun tanlagan hal qiluvchi hisoblanadi.
Oqim qoldiqlari va ionli ifloslantiruvchi moddalarga ta'sir qiladi: Stabilizatorlar yoki ko-erituvchilar bilan tuzilgan bo'lsa, ular lehim oqimlarini va zarrachalar ifloslanishini suvsiz olib tashlashi mumkin.
Hech qanday qoldiqsiz nozik quritish
HFE mukammal "tomchi quritish" imkonini beruvchi xususiyatlarning noyob kombinatsiyasiga ega:
Past sirt tarangligi va yuqori namlanuvchanlik: Ular murakkab geometriyalarga va past{0}}tik turgan qismlarga kirib boradi.
Yuqori uchuvchanlik: ular suv dog'lari yoki ion qoldiqlarini qoldirmasdan to'liq va tez bug'lanadi, bu esa yuqori hosildorlik-ishlab chiqarish uchun juda muhimdir.
Jarayonning samaradorligi va ko'p qirraliligi
HFE moslashuvchan va samarali tozalash usullarini ta'minlaydi:
Bugʻni yogʻsizlantirishga mosligi: Ularning oʻzgaruvchanligi va barqarorligi ularni zamonaviy, yopiq bugʻ tozalash vositalari uchun ideal qiladi, ular hal qiluvchi samarali-va murakkab qismlarni mukammal tozalash imkonini beradi.
Co-solventli "Zip" tozalash: Azeotropik yoki{1}}azeotropik bo'lmagan spirtlar (masalan, IPA) yoki uglevodorodlar bilan aralashmalar avval qutbli/organik ifloslantiruvchi moddalarni eritishi mumkin, so'ngra toza HFE bilan yuviladi va mukammal quruq, qoldiq-bo'sh yuza qoldiradi.
Avtomatlashtirish bilan muvofiqligi: Ularning xususiyatlari avtomatlashtirilgan tozalash tizimlariga integratsiya qilish imkonini beradi.
Ishchilar xavfsizligi afzalliklari
Kam toksiklik: Ular past o'tkir va surunkali toksiklikka ega, yuqori ta'sir qilish chegaralari (odatda yuqori chegara chegara qiymatlari - TLV).
Yoqimli hid: Ko'pgina agressiv erituvchilardan farqli o'laroq, ular odatda yumshoq-xidli bo'lib, ish joyini qabul qilishni yaxshilaydi.
Yonuvchan bo'lmagan-: Yomma tozalashda IPA yoki aseton kabi erituvchilar bilan bog'liq yong'in va portlash xavfini yo'q qiladi.
2. Yarimo'tkazgich fabrikalarida uchta asosiy dastur
A. Gofret-darajasida aniq tozalash
Litografiya, etch yoki implantatsiyadan keyin organik qoldiqlar va < 10 nm metall ionlari qoladi. HFE ning past yopishqoqligi va yuqori penetratsiyasi 30 soniya ichida -kandakdagi zarrachalar sonini > 500 ea sm⁻² dan < 10 ea sm⁻² gacha kamaytiradi; 40 kHz ultratovush yoki reaktiv, metall{7}}ionini (Cu²⁺, Fe³⁺) olib tashlash > 99,9%, keyingi ALD yoki CVD uchun "atomik{9}}miqyos" yuzasini beradi.
B. Fotorezistni tozalash va{1}}kul qoldiqlarini olib tashlash
An'anaviy SPM (H₂SO₄/H₂O₂) yoki amin tozalagichlar Cu/Low-k korroziyasiga olib keladi; suyultirilgan HFE{1}}asosidagi striptizator KrF, ArF va EUV ni 5 daqiqada 60 darajada to'liq eriydi, TiN qattiq maskalari yoki Cu chiziqlari uchun nol yo'qotish bilan, allaqachon 14 nm dan past tugunlar uchun malakali.
C. Kengaytirilgan qadoqlash va mikro-tozalash
TSV yoki mikro{0}}koʻp boʻlak hosil boʻlgandan soʻng, 5 mkm koʻr yoʻlaklarda qoldirilgan oqim va lazer-uglerod-toʻldiruvchi boʻshliq va Hi-potning buzilishiga olib keladi. HFE azeotropi (HFE + ko-erituvchi + korroziya inhibitori) 25 daraja haroratda 2 daqiqa davomida püskürtülür, 98% dan ortiq qoldiqlarni olib tashlaydi, EMC, PI va Cu ustunlari bilan 100% mos keladi va FC-BGA hajmi qatorlarida NMP va aseton o'rnini egalladi.
3. Bozor manzarasi va Xitoyni mahalliylashtirish
Global: 3M Novec oilasi hali ham >60% ulushga ega, yillik sotuvlar ≈ 5 kt, daromad ≈ 1,6 milliard AQSh dollari; 2025 yilga kelib 2,3 milliard dollarga yetishi kutilmoqda.
Mahalliy: Haohua, Capchem, Beijing Yuji va Juhua yuqori-tozalik (99,999% dan ortiq yoki unga teng) sintez va distillash, SMIC, YMTC va HiSilicon sifatlaridan o‘tgan va endi 3M uchun o‘zgartirishlar-bo‘lishini taklif qilmoqda.
Outlook: 3D NAND, GAA-FET va Chiplet arxitekturalari kengayib borayotganligi sababli, past{2}}sirt- kuchlanishli, yuqori{4}}selektiv tozalagichlarga talab yiliga > 20% ga oshib bormoqda; HFE, etuk ODS o'rnini bosuvchi, foyda olishda davom etadi.
HFE gidroftoreter oddiy "yashil shior" emas. Uning moslashtirilgan molekulyar tuzilishi tozalash kuchi, materialning mosligi va atrof-muhitning izlari orasida yoqimli nuqtaga ega. Bu fablarga ozon qatlami yoki uglerod byudjeti xarajatlarisiz Mur qonunini ta'qib qilish imkonini beradi va OSATlarga mayda bo'laklardan tortib katta panellargacha bo'lgan hamma narsa uchun universal "yuvish-va-quruq, nol{4}}qoldiq" retseptini beradi. Xitoyda ishlab chiqarilgan{6}}yuqori{7}}tozalikdagi HFE endi kengayib borayotgani sababli, aniq tozalashda yashil inqilob endigina boshlandi.
HFE gidrofluoroeterni qidirayotgan korxonalar uchun kompaniyamiz raqobatbardosh narxlarni, ishonchli ta'minotni va texnik yordamni taqdim etadi. Batafsil ma'lumot uchun bugun biz bilan bog'laning!
