FFKM yuqori samarali sızdırmazlık materialidir. Uning mukammal ishlashi uning qo'llanilishini yarimo'tkazgich mahsulotlarini butun ishlab chiqarish tizimiga kirishga imkon berdi. Ular orasida FFKM muhrlash uzuklari integral mikrosxemalar ishlab chiqarish uchun zarur bo'lgan asosiy sarf materiallaridan biridir.
FFKM ning tuzilishi va ishlash xususiyatlari
FFKM asosiy monomerlar sifatida tetrafloroetilen (TFE), perfloroalkil vinil efir (PAVE) va oz miqdorda davolash nuqtasi monomeri (CSM) bilan kopolimerlanadi. Quyidagi rasmda ko'rsatilganidek, polimerdagi barcha uglerod atomlari Kauchukdagi vodorod atomlarining barchasi ftor atomlari bilan almashtiriladi, bu esa u CH rishtalarini umuman o'z ichiga olmaydi.
FFKM ning asosiy ishlash xususiyatlari:
1) Fizik xususiyatlari
FFKM zichligi 1.9-2.0g/sm³. Uning normal haroratli mexanik xususiyatlari viniliden ftorid (VDF) asosidagi florokauchuk (FKM) ga yaqin, ammo uning yuqori haroratli mexanik xususiyatlari florokauchuknikidan yaxshiroqdir.
2) Kimyoviy qarshilik
FFKM molekulyar zanjirida vodorod atomlari mavjud emas va CC aloqalari asosan F atomlaridan tashkil topgan qobiq bilan o'ralgan bo'lib, kuchli kimyoviy inertlikni ko'rsatadi va polimerni kimyoviy moddalarga sezilarli darajada chidamli qiladi.
3) Yuqori va past harorat qarshiligi
FFKM ning ish harorati odatda 260 ~ 290 daraja va 316 daraja yuqori haroratlarda vaqti-vaqti bilan ishlatilishi mumkin. Ko'p sonli -OCF3 guruhlari molekulalarning tarmoq zanjirlariga kiritilganligi sababli, molekulalarning moslashuvchanligi yaxshilanadi va kauchukning past haroratga chidamliligi yaxshilanadi.
4) Plazma qarshiligi
Plazma muhitida u yuqori tozalik va past yog'ingarchilikning mahsulot xususiyatlarini namoyish etadi va uzoq vaqt davomida plazma bombardimoniga bardosh bera oladi.
fFKM ning yarim o'tkazgichlarda qo'llanilishi
Yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarishda elastomerik qistirmalarning ishonchliligi juda muhim, chunki muhrlarni almashtirish uchun ishlab chiqarishni to'xtatish juda qimmatga tushadi. Potentsial xavflarni oldini olish uchun muhrlarning tozaligi va tozaligiga qo'yiladigan talablar juda qattiq. Shu bilan birga, muhrlar yuqori haroratli, yuqori vakuumli va korroziy kimyoviy gazlarning bosim muhitida uzoq vaqt ishlay olishi kerak.
Yarimo'tkazgichlarni qo'llash nuqtai nazaridan FFKM asosan quyidagilarga e'tibor qaratadi:
1) Gaz muhri: Yarimo'tkazgichni ishlab chiqarish jarayonida turli gazlarni qayta ishlash va tashish muhim ahamiyatga ega. FFKM O halqasi gazning oqmasligi va jarayon barqarorligini ta'minlash uchun gaz quvurlari, klapanlar va bo'g'inlarni muhrlash uchun ishlatiladi.
2) Etching va tozalash: Yarimo'tkazgich jarayonlarida qirqish va tozalash bosqichlari ko'pincha kuchli kislotalar yoki ishqorlar kabi korroziy vositalardan foydalanishni o'z ichiga oladi. FFKM O halqasi mukammal korroziyaga chidamliligi tufayli ushbu vositalar bilan aloqada bo'lgan asbob qismlarida, masalan, kesish kameralari, tozalash tanklari va boshqalarda keng qo'llaniladi.
3) Suyuqlik va kimyoviy tashish: Yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda eritmalar, erituvchilar, tozalash suyuqliklari va boshqalar kabi turli suyuqliklar va kimyoviy moddalarni tashish kerak. ommaviy axborot vositalarini xavfsiz etkazib berish.
4) Yuqori haroratli muhit: Yarimo'tkazgich jarayonida ma'lum bosqichlar yuqori haroratli muhitda bajarilishi kerak, masalan, issiqlik bilan ishlov berish, yumshatish va hokazo. FFKM O-ringlari yuqori haroratga mukammal qarshilikka ega va ularning elastikligi va muhrlanishini saqlab turishga qodir. yuqori haroratlarda xossalari.
5) O'ta toza suvni tozalash: Yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda ultra toza suv uskunalar va materiallarni tozalash va tozalash uchun ishlatiladi. FFKM O-ringlari iflosliklar va ifloslantiruvchi moddalarning kirib kelishiga yo'l qo'ymaslik uchun ultra toza suv tozalash uskunalarini muhrlash uchun keng qo'llaniladi.
FFKM kauchuk xomashyosining yuqori narxi tufayli FFKM muhrlari odatda ishlatiladigan ish sharoitlari juda og'ir. Ushbu og'ir ish sharoitida boshqa kauchuklar korroziyaga, shishishga, eritmaga, qarishga va qotib qolishga va hokazolarga moyil bo'lib, sızdırmazlığa olib keladi va shuning uchun muhrlanish talablariga javob bera olmaydi. Ajoyib korroziyaga chidamliligi va yuqori haroratga chidamliligi tufayli FFKM kauchuk nafaqat og'ir ish sharoitlarining muhrlanish talablariga javob berishi, balki muhrlarning xizmat qilish muddatini oshirishi va mijozlarning texnik xarajatlarini kamaytirishi mumkin.
