Yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda gofretni tozalash chipning rentabelligi va ishlashini belgilovchi eng muhim bosqichlardan biridir. Texnologiya tugunlari qisqarishda davom etar ekan, tozalash jarayonlariga qo'yiladigan talablar misli ko'rilmagan qat'iylik darajasiga yetdi. An'anaviy RCA gofretni tozalash nam tozalashning asosi bo'lib qolsa-da,-noorganik ifloslantiruvchi moddalar va zarralarni tozalashda-bu murakkab organik qoldiqlarni bartaraf etish va nozik tuzilmalarni quritishda jiddiy muammolarga duch keladi.
Yuqori samarali gidroftoreter (HFE) o'z qiymatini-bu erda isbotlaydi. Zamonaviy yarimo'tkazgichlarni tozalash jarayonlarida muhim maxsus erituvchi sifatida HFE aniq, atrof-muhitga mos va yuqori samarali yechim taklif qiladi. Ushbu maqolada HFE 347 qanday qilib yarimo'tkazgichli gofretni tozalashni tezlashtirishi, kuchli qo'shimcha bo'lib xizmat qilishi va an'anaviy usullarga yangilanishi ta'kidlangan.
An'anaviy tozalash chegaralari va HFE ning strategik roli
Klassik RCA gofretni tozalash jarayoni yuqori{0}}haroratli, yuqori-soflikdagi suvli kimyoviy eritmalarga (masalan, SC-1, SC-2) asoslanadi. Ionlarni, metall ifloslantiruvchi moddalarni va zarralarni olib tashlashda mukammal bo'lsa-da, jarayon ikkita o'ziga xos cheklovga ega:
Fotorezist qoldiqlari, vakuum pompasi moylari, silikon moylar va nozik komponentlardan ilg'or moylash materiallari kabi o'ziga xos organik ifloslantiruvchi moddalarga nisbatan cheklangan samaradorlik.
"Suv" quritish muammosi: Suvning yuqori sirt tarangligi oxirgi quritish bosqichida jiddiy xavf tug'diradi, bu ko'pincha naqshning buzilishiga va moybo'yoq qoldiqlariga olib keladi, ayniqsa yuqori{0}}aspekt-nisbatli tuzilmalarda.
HFE 347 ilg'or gidroftoreter erituvchisi sifatida o'zining noyob fizik-kimyoviy xossalari orqali bu og'riqli nuqtalarga to'g'ridan-to'g'ri murojaat qiladi va o'zini "nam tozalashda aniq quruq--o'tkazish" uchun ideal vosita sifatida joylashtiradi.
Gofretni tozalashda HFE 347 ning ettita asosiy afzalliklari
HFE 347 ni gofretni tozalash jarayoniga integratsiya qilish quyidagi asosiy afzalliklarni beradi:
“Nol-nuqson” natijalari uchun yuqori quritish samaradorligi
Haddan tashqari past sirt tarangligi va yuqori oʻzgaruvchanligi bilan HFE 347 qoldiqsiz butunlay bugʻlanadi, bu esa naqshning tushishi va suv belgilarini-yozadi, bu esa{1}}RCA tozalashdan keyingi suvli quritish bilan erishib boʻlmaydigan natijadir.
Materiallar bilan mukammal muvofiqligi
Gofretlar, metallar, keramika va ko'pchilik polimerlarga nisbatan yumshoq, korroziya yoki shikastlanishning oldini oladi, tozalash jarayoni yangi nuqsonlarni keltirib chiqarmasligini ta'minlaydi.
Maqsadli tozalash kuchi
PFPE (perfluoropolieter) vakuum pompasi moylari, yog'lar, ma'lum fotorezist qoldiqlari va organik zarralar uchun ajoyib eruvchanligi uni ushbu o'ziga xos ifloslantiruvchi moddalarni olib tashlash uchun tanlov hal qiluvchi qiladi.
Jarayonning yuqori moslashuvchanligi
Suvga cho'mish, buzadigan amallar, bug'larni yog'sizlantirish va gofretni tozalashning boshqa usullari bilan mos keladi. Ayniqsa, nozik qismlar va kamera komponentlarini oflayn rejimda tozalash uchun mos keladi va ifloslantiruvchi moddalarning gofretlarga o'tishining oldini oladi.
Atrof-muhit va xavfsizlik qoidalariga muvofiqligi
Nol ODP (Ozon qatlamini yo'q qilish potentsiali) va past GWP (Global isish potentsiali) bilan ajralib turadi, bu qat'iy atrof-muhit qoidalariga mos keladi. Uning past toksikligi va yonmaydigan-ish xavfsizligini oshiradi.
Azeotrop hosil qilish qobiliyati
Spirtli ichimliklar (masalan, IPA) bilan azeotrop aralashmalar hosil qilishi mumkin, bu "bir bosqichli" tozalash-va-quruq jarayonni ta'minlaydi: avval organik ifloslantiruvchi moddalarni eritib, so'ngra mukammal quritish uchun sof HFE 347 bilan almashtirib, ish jarayonini sezilarli darajada soddalashtiradi.
Suv va oqava suvdan foydalanishning kamayishi
Suvli bo'lmagan erituvchi sifatida HFE 347 o'ta toza suvga bog'liqlikni kamaytiradi va yuqori -xarajatli oqava suvlarni tozalash yukini kamaytiradi.
HFE 347 ni tozalash ish jarayoniga integratsiya qilish
HFE 347 RCA tozalash jarayonini almashtirish uchun emas, balki uni mukammal ravishda to'ldirish uchun mo'ljallangan:
Tozalashdan oldingi-bosqich sifatida: oʻzaro ifloslanishning oldini olish uchun gofret tashuvchilar, robot qoʻllari yoki kamera qismlaridan organik ifloslantiruvchi moddalarni tozalaydi.
Post sifatida-Jarayonni tozalash: litografiya, o'yma yoki CMPdan so'ng, ayniqsa, suvga sezgir tuzilmalar-da maxsus organik qoldiqlar va zarralarni olib tashlash uchun samarali.
Quritish vositasi sifatida: Yakuniy suv yuvilgandan so'ng joyni almashtirib quritish uchun ishlatiladi{0}}ilg'or tugun naqshlarini himoya qilishning ishonchli usuli.
RCA standart nam tozalash va HFE solventli tozalash o'rtasidagi taqqoslash
| Xususiyat | RCA standart nam tozalash | HFE solventli tozalash |
|---|---|---|
| O'rta | Suvli kimyoviy eritmalar (kuchli kislotalar, asoslar, oksidlovchilar) | Organik floroeter erituvchi (-suvsiz) |
| Birlamchi mexanizm | Kuchli kimyoviy reaktsiyalar (oksidlanish, kompleks hosil bo'lish, etching) | Asosiy jismoniy erish, zaif kimyoviy o'zaro ta'sir |
| Maqsadli ifloslantiruvchi moddalar | Noorganik ifloslantiruvchi moddalar (metall ionlari, zarralar), organik qoldiqlar | Maxsus organik ifloslantiruvchi moddalar (yog'lar, qatronlar, fotorezistlar va boshqalar) |
| Quritish muammosi | Muhim qiyinchilik: Suvning yuqori sirt tarangligi suv belgilariga va naqshning buzilishiga olib keladi, bu IPA bug'ini quritish yoki Marangoni quritish kabi maxsus quritish usullarini talab qiladi. | O'ziga xos afzallik: past sirt tarangligi va yuqori o'zgaruvchanlik qoldiqni{0}}o'z-o'zidan{1}}quyish imkonini beradi. |
| Ekologik{0}}do'stlik va xavfsizlik | Katta hajmdagi yuqori{0}}toza kimyoviy moddalar va oʻta toza suvdan foydalanadi va tozalash uchun katta miqdorda oqava suv hosil qiladi. | Kimyoviy boshqaruvni soddalashtirish, ammo VOC emissiyasini hisobga olish kerak. |
HFE-347 ning asosiy ma'lumotlari
|
Kimyoviy nomi: |
1,1,2,2-tetrafloroetil 2,2,2-trifloroetil efir |
|
CAS: |
406-78-0 |
|
MF: |
C4H3F7O |
|
MVt: |
200.05 |
|
EINECS: |
609-858-6 |
|
Kimyoviy xossalari |
|
|
Qaynash nuqtasi |
56,2 daraja |
|
zichligi |
1.487 |
|
sindirish ko'rsatkichi |
1.276 |
|
O'ziga xos tortishish |
1.487 |
|
CAS ma'lumotlar bazasiga havola |
406-78-0 (CAS ma'lumotlar bazasi ma'lumotnomasi) |
|
EPA moddalarni ro'yxatga olish tizimi |
HFE-347pcf2 (406-78-0) |
|
Sinov elementlari |
Texnik xususiyatlari |
|
Tashqi ko'rinish |
Shaffof rangsiz suyuqlik |
|
Poklik |
99,5% dan katta yoki teng |
|
Suv |
100ppm dan kam yoki unga teng |
Mur qonuni asosida yarimoʻtkazgichli gofretni tozalash endi faqat kirni tozalashdan iborat-bu nanometr-oʻlchovdagi nozik muhandislik. HFE 347 nam tozalash samaradorligini quruq ishlov berishning mukammal yakuniy-nuqtasi bilan birlashtirgan zamonaviy yarimo‘tkazgichlarni ishlab chiqarish muammolariga aqlli yechim hisoblanadi.
Ishonchli HFE yetkazib beruvchi sifatida biz HFE 347 ni nihoyatda yuqori tozalik va partiyadan partiyaga{1}}to‘plamga{2}} mustahkamlik bilan ta’minlab, gofretni tozalash jarayoni barqaror, ishonchli va samarali bo‘lishini ta’minlaymiz. Keyingi avlod chiplarini ishlab chiqyapsizmi yoki ishlab chiqarish liniyasining rentabelligini optimallashtiryapsizmi,-bu sizga ishonishingiz mumkin bo'lgan jarayon hamkoridir.
HFE gidrofluoroeter HFE347 haqida ko'proq ma'lumot olish uchun bugun biz bilan bog'laning!
Bizning manzil
1102-xona, C bloki, Xinjing markazi, №25 Jiahe Road, Siming tumani, Xiamen, Fujan, Xitoy
Telefon raqami
+86-592-5803997
E-pochta
susan@xmjuda.com
