SF6 yoki oltingugurt hexafluorid, asosan, yarimo'tkazgich ishlab chiqarish jarayonida kremniy etchlash uchun ishlatiladigan gazdir. SF6 gazida oltingugurt atomi atomlari bilan o'ralgan sakkiz oltikedral tuzilma mavjud. Uning polar bo'lmagan xususiyatlari uni yuqori voltli elektr jihozlarida izolyatsion gazga aylantiradi. SF6ning fizik xususiyatlari, rangsiz, hidsiz, yonmaydigan, noxol emas, izolyatsiya, suvda bardoshli bo'lmagan, issiqlik barqarorligi, ammo kambag'al barqarorlik, ammo polar bo'lmagan eritgichlarda eriydi.
Kimyoviy xususiyatlari nuqtai nazaridan, SF6 xona haroratidagi boshqa moddalar bilan boshqa moddalarga ta'sir qilmaydi, ammo kuchli ultrabinafsha nur ostida parchalanadi.
SF6 odatda sanoat va uning tabiatdagi mazmuni tomonidan ishlab chiqariladi. SF6 ishlab chiqarish uchun reaktsiya tenglamasi quyidagilardan iborat:
2 Coft + SF₄ + [Br₂] {+ 2 Cofh + [Br₂]
Sf, Cof shigi va b₂ birgalikda aralashtiriladi va 100 darajadan isitiladi, ular orasida reaktsiya paydo bo'ladi. Ushbu reaktsiyada SF₄ va Cof sh₃ning bir qismi SF va Cofw ishlab chiqarishga reaktsiya qiladi. Shomin reaktsiyada iste'mol qilinmaydi, bu faqat katalizator sifatida ishlaydi.
SF6 xavfli?
Sf6 toza holatida zaharli bo'lmagan bo'lsa-da, u havodan kislorodni va havodagi 19% dan ko'p bo'lgan hajm kontsentratsiyasi bo'g'ilishga olib keladi. Shuning uchun SF6 oqishlarini o'z vaqtida aniqlash juda muhimdir va yarimo'tkazgich ishlab chiqarish jarayonida tegishli profilaktika choralarini ko'rish juda muhimdir.
SF6 yarimo'tkazgich sanoatida foydalanish
Sf6 yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda keng qo'llaniladi. Silikal ürtonda SF6 asosiy gaz sifatida ishlatiladi va chuqur kremniyni chuqur kremniyga erishish uchun SF4 va C4F8 bilan birgalikda ishlaydi. Bundan tashqari, SF6 ko'pincha MO va VF o'zgaruvchan hexafluorididlar meof va WF ni shakllantirish uchun reaktsiya qilish uchun ishlatiladi. Sf6 alyuminiy keksayish uchun imtiyozli gaz bo'lmasa-da, uni CLIG kabi gazlar bilan aralashtirganda alyuminiyning etektiv stavkasini kuchaytirish uchun yordamchi gaz sifatida ishlatilishi mumkin.
Kremniy etching
Silikon davrida qadam, faqat passivatsiya plyonkasi olib tashlangan pastki qismidagi kremniy. SF6 gaz joriy etiladi va SF6 turli xil parchalanish mahsulotlarini, shu jumladan yuqori faol ftor atomlarini (f) ishlab chiqarish uchun plazmada ajratilgan.
SF6-->SF4+F2-->SF2+2F2-->F+...
Natijada bo'lgan ftor atomlari silikat yuzasi bilan reaktiv metitikon yuzasi bilan reaktiv reaktiv, palatadan osonlikcha zaryadsizlangan o'zgaruvchan aralashma.
Si+4F-->Sif4
Pastki oyoq qatlami etikasi
Ushbu bosqichda yon devorda ham, pastki qismida ham palatvatsiya qatlami hosil bo'ladi. Biroq, biz faqat yondashuvni Ets-ni saqlashdan himoya qilish uchun faqat ichki qatlamli qatlamni davom ettirmoqchimiz, ammo biz pastga tushirish uchun pasdativat qatlamini olib tashlashimiz kerak. Shuning uchun, SF6 gazi bu vaqtda pastki qismdagi pasdatsiya qatlamiga hujum qilish uchun joriy etiladi. Pastki qismdagi oyoq qatlamidan keyin SF6 kremniyni davom ettirmoqda va tsikl hech qachon tugamaydigan pastadir kabi takrorlaydi.
Xitoyda SF6 sf6 sf6 oltingugurt hecafluorid fabrikasi
SF6 gazi haqida sizning so'rovingizni bizga yuboring!
Biz sizning sotib olish ehtiyojlarini qondirish uchun SF6 gaz va xizmatlarini taqdim etamiz.
Endi so'rov yuboring
