Gofretni tozalash nima? Tel:+086-592-5803997
Gofretni tozalash yarimo'tkazgichlarni nam kimyoviy vannalar (masalan, RCA Clean) yordamida kremniy gofretlardan zarralar, organik moddalar va metall ifloslantiruvchi moddalarni olib tashlashning muhim jarayonidir.,Piranani H₂SO₄/H₂O₂), erituvchilar (aseton, metanol), gidroftorik kislota (HF) va mexanik tozalash yoki megasonik usullar bilan tozalash, so'ngra ultra-toza suv bilan yuvish va azot bilan quritish, matolarni mikrochiplash jarayonlari bilan nuqsonlardan xoli bo'lishini ta'minlash uchun{1} aniqlik uchun bitta-gofret purkash.
Hidroftoreter HFE347, nol ODP, past GWP,-yonuvchanlik va nol qoldiqni o'zida mujassam etgan holda, tezda fab muhandisining yangi sevimlisiga aylandi va endi kuchli qo'shimcha va an'anaviy usullarga yangilash sifatida qaralmoqda.
gofretni tozalash jarayoni Tel:+086-592-5803997
| Gofretni tozalash bosqichi | Maqsad |
|---|---|
| Pre-Diffuzion tozalash | Metall, zarrachalar va organik ifloslantiruvchi moddalardan xoli sirt hosil qiladi. Ba'zi hollarda tabiiy oksid yoki kimyoviy oksidlarni olib tashlash kerak. |
| Metall ionlarni tozalash | Qurilmaning ishlashiga salbiy ta'sir ko'rsatishi mumkin bo'lgan metall ionlarini yo'q qiling. |
| Zarrachalarni tozalash | Megasonic tozalash yordamida kimyoviy yoki mexanik tozalash yordamida sirtdan zarrachalarni olib tashlang. |
| Etchdan keyingi tozalash | Oshlama jarayonidan keyin qolgan fotorezistni va polimerlarni olib tashlang. Fotorezistni va qattiq qoldiqni, shu jumladan "etch polimerini" olib tashlang. |
| Filmni olib tashlashni tozalash | Silikon nitridi bilan ishlov berish/chiziq, Oksid bilan ishlov berish/tasma, Silikon bilan ishlov berish va metall bilan ishlov berish/tasma |
An'anaviy tozalash chegaralari va HFE ning strategik roli Tel:+086-592-5803997
Klassik RCA gofretni tozalash jarayoni yuqori{0}}haroratli, yuqori-soflikdagi suvli kimyoviy eritmalarga (masalan, SC-1, SC-2) asoslanadi. Ionlarni, metall ifloslantiruvchi moddalarni va zarralarni olib tashlashda mukammal bo'lsa-da, jarayon ikkita o'ziga xos cheklovga ega:
Fotorezist qoldiqlari, vakuum pompasi moylari, silikon moylar va nozik komponentlardan ilg'or moylash materiallari kabi o'ziga xos organik ifloslantiruvchi moddalarga nisbatan cheklangan samaradorlik.
"Suv" quritish muammosi: Suvning yuqori sirt tarangligi oxirgi quritish bosqichida jiddiy xavf tug'diradi, bu ko'pincha naqshning buzilishiga va moybo'yoq qoldiqlariga olib keladi, ayniqsa yuqori{0}}aspekt-nisbatli tuzilmalarda.
HFE 347 ilg'or gidroftoreter erituvchisi sifatida o'zining noyob fizik-kimyoviy xossalari orqali bu og'riqli nuqtalarga to'g'ridan-to'g'ri murojaat qiladi va o'zini "nam tozalashda aniq quruq--o'tkazish" uchun ideal vosita sifatida joylashtiradi.
Gofretni tozalash bo'yicha asosiy ma'lumotlar Hydrofluoroether HFE347
Tel:+086-592-5803997
HFE (Hidroftoreter) vodorod, ftor, uglerod va kisloroddan tashkil topgan, efir bog'lari (R-O-R') va ftoralkil tuzilmalarini birlashtirgan organik birikmalar sinfidir. U atrof-muhitga ta'sirni (masalan, ozon qatlamining emirilishi va global isish potentsialini) kamaytirish bilan birga ftorli erituvchilarning mukammal ishlashini saqlab qolish uchun mo'ljallangan. HFE nozik tozalash vositasi, sovutish suvi, erituvchi tashuvchi va boshqalar sifatida, ayniqsa elektronika, yarimo'tkazgich va aerokosmik sohalarda keng qo'llaniladi.
|
Kimyoviy nomi: |
1,1,2,2-tetrafloroetil 2,2,2-trifloroetil efir |
|
CAS: |
406-78-0 |
|
MF: |
C4H3F7O |
|
MVt: |
200.05 |
|
EINECS: |
609-858-6 |
|
Kimyoviy xossalari |
|
|
Qaynash nuqtasi |
56,2 daraja |
|
zichligi |
1.487 |
|
sindirish ko'rsatkichi |
1.276 |
|
O'ziga xos tortishish |
1.487 |
|
CAS ma'lumotlar bazasiga havola |
406-78-0 (CAS ma'lumotlar bazasi ma'lumotnomasi) |
|
EPA moddalarni ro'yxatga olish tizimi |
HFE-347pcf2 (406-78-0) |
|
Sinov elementlari |
Texnik xususiyatlari |
|
Tashqi ko'rinish |
Shaffof rangsiz suyuqlik |
|
Poklik |
99,5% dan katta yoki teng |
|
Suv |
100ppm dan kam yoki unga teng |
yarimo'tkazgichli gofretni tozalash HFE 347 Factory Tour Tel:+086-592-5803997
yarimo'tkazgichni tozalash yetkazib beruvchi - Kompaniya profili Tel:+086-592-5803997
Xiamen Juda Chemical & Equipment Co., Ltd. strategik korxona boʻlib, Juhua Group - Xitoyning ftor-kimyo sanoatida yetakchi - tomonidan yuqori-elektron materiallar sektoriga oʻtish uchun sarmoya kiritgan.
Guruhning asosiy ftor xomashyosidan tortib ilg'or floropolimerlargacha bo'lgan to'liq sanoat zanjiri kuchli tomonlariga tayangan holda va uzoq muddatli texnologiya tajribasiga tayangan holda-yahuda xalqaro ta'minot to'siqlarini yengib o'tish va asosiy elektron materiallar bilan o'zini-ta'minlashni maqsad qilgan. Kompaniya yarimo'tkazgichlar, integral mikrosxemalar va boshqa murakkab elektron ilovalarni ishlab chiqarish uchun yuqori-ftor{4}}faoliyatli muhim yechimlarni yetkazib berishga ixtisoslashgan.
Issiq teglar: gidrofluoroeter hfe347 gofretni tozalash uchun erituvchi, etkazib beruvchilar, ishlab chiqaruvchilar, zavod, tirnoq, narx, sotib olish
